构建产业生态联盟 助力泛在电力物联网建设

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同样,产业对于SiO2表面,产业其未经活化的表面由Si-O和Si-O-Si结构交替构成,活化后表面Si-O-Si键密度增加的同时表面新形成了-NH2官能团,与表面能变化结果相吻合,证实了混合表面在经过两步协同活化后均成功构建了亲水性官能团,即表面实现共亲水化。生态设降低键合温度的本质在于控制Cu和SiO2表面化学状态。

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【通讯作者介绍】王晨曦,联盟哈尔滨工业大学材料科学与工程学院教授,博士生导师,IEEESeniormember。【第一作者介绍】康秋实,助力哈尔滨工业大学材料科学与工程学院博士研究生,本硕博均就读于哈尔滨工业大学材料学院。然而,电力Cu-Cu和SiO2-SiO2低温键合所需的理想表面状态难以兼容(如无氧化的Cu表面和亲水的SiO2表面),电力因此难以通过单一的活化方法直接实现低温混合键合。

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图2Cu/SiO2混合表面活化前后三维形貌如图3所示,物联网建通过对活化前后Cu和SiO2表面能进行测试,物联网建可以发现经过Ar/O2等离子体→NH4OH两步协同活化能够有效地将Cu和SiO2表面润湿角分别降低至19.6°和2°,证明表面形成了亲水性化学结构。如图4所示,构建未经处理的Cu表面存在大量氧化并黏附有机污染物,活化后表面有机污染物得以去除,同时在表面引入更多的-OH和-NH2结构。

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在低温退火过程中,产业O或N原子进一步扩散到衬底中,形成无氧化的原子级Cu-Cu互连。

同时结合能谱(EDS)分析,生态设界面处没有氧化物或氮化物残留。(h) 单个Cu@GaNNW的TEM图像和Cu(红色)、联盟Ga(绿色)、N(蓝色)的EDS元素映射图像。

该项目获得了国家重点研发计划、助力国家自然科学基金、福建省科技计划等项目的资助。(e)820°C、电力50sccm、NH3、铜箔胶囊包裹。

物联网建(d)真实海洋环境下PD测试的Iphoto-t曲线。分别在不同反应条件下NWs的SEM图像:构建(d)550°C、50sccmNH3、无铜箔胶囊。

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